产品介绍:
洁净室适用
所有机器人手臂和基座可互换
加长手臂和高负载版本可选
省空间
单臂、双臂/叠层牙叉适配
ISO Class 1级洁净度
支持控制箱内置
多种末端执行器适配
可选装横移轴、Mapping传感器、Wafer传感器等
支持客制化定制
产品特点:
高操控性的伺服电机和控制软件
实现低振动以及平稳快速搬送
主要用于半导体产业,如硅晶圆片等精密产品的搬运、翻转等
也可用于其它加工元件的精密运输、传送
产品介绍:
洁净室适用
所有机器人手臂和基座可互换
加长手臂和高负载版本可选
省空间
单臂、双臂/叠层牙叉适配
ISO Class 1级洁净度
支持控制箱内置
多种末端执行器适配
可选装横移轴、Mapping传感器、Wafer传感器等
支持客制化定制
产品特点:
高操控性的伺服电机和控制软件
实现低振动以及平稳快速搬送
主要用于半导体产业,如硅晶圆片等精密产品的搬运、翻转等
也可用于其它加工元件的精密运输、传送