MEMS传感器是一种微型传感器。它由微电子技术和微机械制造技术相结合而成。它可以感知并测量物理量，如温度、压力、湿度、加速度、陀螺仪等。MEMS传感器的尺寸很小，通常是几毫米或更小，所以可以被广泛地应用于各种便携式设备和传感网络中。
什么是mems传感器？
传感器的基本原理是将物理量转换为电信号。MEMS传感器也是如此。它采用微机械制造技术，将微型机械结构集成到微电子器件中，形成一个微型电机和微控制电路。当物理量作用于微型机械结构时，机械结构会发生微小的变形，从而改变微型电机的输出电信号。通过测量输出信号，可以得到物理量的值。
MEMS传感器有很多种类。其中，加速度传感器和陀螺仪是最常见的两种。加速度传感器可以测量物体的加速度，广泛用于智能手机、平板电脑、游戏控制器等便携式设备中。陀螺仪可以测量物体的旋转角速度，广泛应用于惯性导航系统和飞行器中。除此之外，还有压力传感器、温度传感器、湿度传感器等。
虽然MEMS传感器的尺寸很小，但其精度和可靠性却是很高的。它的制造成本也相对较低，使其得到了广泛的应用。与传统的机械传感器相比，MEMS传感器更加灵活、可靠、耐用，所以成为了智能化设备中不可或缺的组成部分。
总之，MEMS传感器是一种微型传感器，能够感知并测量各种物理量。其基本原理是将物理量转换为电信号。加速度传感器和陀螺仪是最常见的两种MEMS传感器。虽然其尺寸很小，但其精度和可靠性却是很高的。现在，MEMS传感器已经成为了智能化设备中的重要组成部分，未来的应用前景也是非常广阔的。
